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直线固晶机案例视频

高精度的耦合YZ平台,可在Y和Z反向运动长行程

- Y轴行程最大可至200mm

- Z轴行程最大可至50mm

- 低运动负载(Z轴定子不会随着运动而成为移动负载)

- Y和Z方向的超高加速度

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